Специальные материалы и субмикронные компоненты, лабораторный практикум, Пособие, Соловьёв Я.А., Шахлевич Г.М., Петлицкий А.Н., 2022

Специальные материалы и субмикронные компоненты, Лабораторный практикум, Пособие, Соловьёв Я.А., Шахлевич Г.М., Петлицкий А.Н., 2022.

    Включает в себя лабораторные работы по исследованию дефектов кристаллического строения кремниевых подложек микросхем, топологии, элементного состава и электрофизических свойств субмикронных полупроводниковых структур, характеристик многослойных оптически прозрачных пленок на кремнии, а также моделированию и исследованию характеристик транзисторно-транзисторных логических микросхем и микросхем на КМОП-транзисторах.
Предназначено для закрепления теоретических знаний магистрантов, полученных ими на лекциях и в процессе самостоятельного изучения дисциплины, приобретения навыков исследования субмикронных кремниевых структур на современном оборудовании.




Методы рентгеновской дифракционной и электронной микроскопии.
При использовании методов рентгеновской дифракционной микроскопии изучаемая дифракционная картина может быть получена как от проходящих, так и от отражённых пучков. В зависимости от условий съёмки искажённые участки решётки могут дать как повышение, так и понижение интенсивности дифрагированных лучей. Основными причинами контраста микродефектов являются первичная экстинкция и аномальное прохождение излучения.

Для исследования локальных микронарушений используются методы Ланга. Бормана (аномального прохождения рентгеновских лучей) и двухкристального спектрометра. Методом Ланга исследуются тонкие кристаллы 100-200 мкм. Рентгеновские лучи (рис. 1.5) от точечного источника попадают на образец 1, установленный в отражающее положение. На плёнке 2 фокусируется дифрагированный пучок, прямой пучок отсекается диафрагмой 3, и получается изображение сечения кристалла. В результате дифракционного контраста нарушения структуры проявляются как тёмные области на светлом фоне.

ОГЛАВЛЕНИЕ.
Лабораторная работа №1. ИССЛЕДОВАНИЕ ДЕФЕКТОВ КРИСТАЛЛИЧЕСКОГО СТРОЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖЕК МИКРОСХЕМ.
Лабораторная работа №2. ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК МНОГОСЛОЙНЫХ ОПТИЧЕСКИ ПРОЗРАЧНЫХ ПЛЁНОК НА КРЕМНИИ.
Лабораторная работа №3. ИССЛЕДОВАНИЕ ТОПОЛОГИИ И ЭЛЕМЕНТНОГО СОСТАВА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР.
Лабораторная работа №4. ИССЛЕДОВАНИЕ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК СУБМИКРОННЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР.
Лабораторная работа №5. ИЗУЧЕНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ТРАНЗИСТОРНО-ТРАНЗИСТОРНЫХ ЛОГИЧЕСКИХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ.
Лабораторная работа №6. МОДЕЛИРОВАНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК МИКРОСХЕМ НА КМОП-ТРАНЗИСТОРАХ.



Бесплатно скачать электронную книгу в удобном формате, смотреть и читать:
Скачать книгу Специальные материалы и субмикронные компоненты, лабораторный практикум, Пособие, Соловьёв Я.А., Шахлевич Г.М., Петлицкий А.Н., 2022 - fileskachat.com, быстрое и бесплатное скачивание.

Скачать pdf
Ниже можно купить эту книгу по лучшей цене со скидкой с доставкой по всей России.Купить эту книгу


Скачать - pdf - Яндекс.Диск.




Теги: учебник по электронике :: электроника :: электротехника :: Соловьёв :: Шахлевич :: Петлицкий :: транзистор :: микросхема