Технологии субмикронных структур микроэлектроники, Достанко А.П., 2018

По кнопке выше «Купить бумажную книгу» можно купить эту книгу с доставкой по всей России и похожие книги по самой лучшей цене в бумажном виде на сайтах официальных интернет магазинов Лабиринт, Озон, Буквоед, Читай-город, Литрес, My-shop, Book24, Books.ru.

По кнопке «Купить и скачать электронную книгу» можно купить эту книгу в электронном виде в официальном интернет магазине «ЛитРес», и потом ее скачать на сайте Литреса.

По кнопке «Найти похожие материалы на других сайтах» можно искать похожие материалы на других сайтах.

On the buttons above you can buy the book in official online stores Labirint, Ozon and others. Also you can search related and similar materials on other sites.


Технологии субмикронных структур микроэлектроники, Достанко А.П., 2018.

Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.

Технологии субмикронных структур микроэлектроники, Достанко А.П., 2018


Активирование поверхности твердых тел и плазменная очистка.
Перед проведением ряда технологических процессов (например, высокотемпературное окисление, первая фотолитография, нанесение металлической либо диэлектрической пленки и т. д.) следует провести очистку подложек для удаления как органических, так и неорганических загрязнений в виде инородных атомов и молекул, появляющихся на предыдущих этапах технологических процессов или во время переноса подложек с одной технологической линии на другую. Если такие загрязнения не удалить, то возможно ухудшение электрических характеристик приборов, а также понижение надежности интегральных схем (ИС).

ОГЛАВЛЕНИЕ.
Введение.
Глава 1.СВЧ плазменные технологии при создании микро- и наноструктур изделий электронной техники.
Глава 2.Формирование ячеек сегнетоэлектрической энергонезависимой памяти.
Глава 3.Формирование субмикронных функциональных слоев в микроэлектронных изделиях.
Глава 4.Бессвинцовые материалы для контактных соединений в изделиях электроники.
Глава 5.Технологические процессы и оборудование для сборки многокристальных модулей.
Глава 6.Лазерная активация электрохимических процессов формирования субмикронных структур.
Глава 7.Диагностика субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники.

Купить .

Дата публикации:






Теги: :: :: ::


Следующие учебники и книги:
Предыдущие статьи:


 


 

Книги, учебники, обучение по разделам




Не нашёл? Найди:





2021-07-30 15:50:44