Изложены основы различных химических и физико-химических методов обработки поверхности полупроводников. Описаны методы химико-механического, химико-динамического, электрохимического, фотохимическою, фотоэлектрохимического и плазмохимического травления и полирования монокристаллических подложек из кремния, германия и соединений AIIIBV, а также химические и электрохимические методики локального травления полупроводников, препарирования кристаллов и эпитаксиальных структур. Систематизированы методы межоперационной и финишной очистки полупроводников от различных загрязнение. Для инженеров-технологов, занимающихся разработкой и производством полупроводниковых микроприборов и интегральных микросхем.
ПРЕДИСЛОВИЕ.
Книга посвящена одному из важных разделов технологии микроэлектронных приборов и интегральных микросхем — обработке поверхности полупроводников. Авторами впервые предпринята попытка комплексно осветить современные физико-химические методы обработай поверхности полупроводников: химико-механическое полирование (ХМП), химико-динамическое полирование (ХДП), электрохимическое и фотохимическое травление и полирование, различные методы очистки поверхности подложек полупроводников, включая плазмохимическую обработку. Основное внимание уделено применению этих методов для подготовки подложек из кремния, германия, соединений AIIIBV, используемых в промышленности при изготовлении микро-электронных приборов и интегральных микросхем. Материал книги базируется на результатах исследований, опубликованных в периодической советской и зарубежной печати за последние 10—15 лет.
ОГЛАВЛЕНИЕ.
Предисловие.
Глава первая. Основные вопросы технологии физико-химической обработки поверхности полупроводников.
Глава вторая. Химические методы обработки поверхности полупроводниковых пластин.
Глава третья. Физико-химические методы подготовки поверхности полупроводниковых подложек в планарно-эпитаксиальной технологии
Глава четвертая. Электрохимические методы обработки поверхности полупроводниковых подложек.
Глава пятая. Применение физико-химических методов обработки поверхности полупроводников в микроэлектронике.
Список литературы.
Бесплатно скачать электронную книгу в удобном формате, смотреть и читать:
Скачать книгу Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников, Луфт Б.Д., Перевощиков В.А., Возмилова Л.Н., 1982 - fileskachat.com, быстрое и бесплатное скачивание.
Скачать djvu
Ниже можно купить эту книгу по лучшей цене со скидкой с доставкой по всей России.Купить эту книгу
Скачать - djvu - Яндекс.Диск.
Дата публикации:
Теги: Луфт :: Перевощиков :: Возмилова :: 1982 :: физика :: химия
Смотрите также учебники, книги и учебные материалы:
Следующие учебники и книги:
- Колебания и волны, Введение в акустику, радиофизику и оптику, Горелик Г.С., 2007
- Физика, 7 класс, учебник, Грачёв А.В., Погожев В.А., Селиверстов А.В.
- Курс физики, том 1, Хвольсон О.Д., 1933
- Физические основы полупроводниковой электроники, Снитко О.В., 1985
Предыдущие статьи:
- Радиосистемы передачи информации, Тепляков И.М., Рощин Б.В., Фомин А.И., Вейцель В.А., 1982
- Современная электродинамика и причины ее парадоксальности, перспективы построения непротиворечивой электродинамики, книга 1, Николаев Г.В., 2003
- Сборник задач и упражнений по теоретическим основам электротехники, Ионкин П.А., 1982
- Планетарные и волновые передачи, Руденко В.Н., 1980