Теория механизмов и машин, проектирование элементов и устройств технологических систем электронной техники, Ивашов Е.Н., Сигов А.С., 2019.
В настоящем учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники — вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумного технологического оборудования, l — координатных исполнительных устройств и узлов фения для работы в условиях вакуума, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, различных передаточных механизмов, трибосопряжений с модифицирующими полимерными покрытиями, электростатических крепежных устройств для захватов манипуляторов, вопросы расчета функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнений и газовыделение, а также вопросы расчета вероятности безотказной работы элементов механических систем, функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнения и газовыделения и др.
ЭЛЕМЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ ОБОРУДОВАНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ ТЕХНОЛОГИИ.
На современном этапе развития вакуумного оборудования тонкопленочной технологии важными факторами является: - автоматизация процесса напыления тонкопленочных покрытий; - совместимость различных технологических операций в одном рабочем вакуумном объеме (камере) либо в объемах, соединенных между собой шлюзами и транспортирующими устройствами; - изолирование подложки с пленочным покрытием на всех стадиях ее обработки от воздействия окружающей среды. Однако независимо от выбранного способа испарения (распыления) исходного материала и конкретного назначения изделия вакуумное оборудование для изготовления тонкопленочных структур имеет много общих систем.
Купить .
Дата публикации:
Теги: Ивашов :: книги по электронике :: электроника :: проектирование :: механизмы :: машиностроение
Смотрите также учебники, книги и учебные материалы:
Следующие учебники и книги:
- Новые источники энергии, Фролов А.В., 2017
- Устройства сопряжения с объектом, Жмудь В.А., 2019
- Технология ремонта и обслуживания электрооборудования, Дайнеко В.А., 2020
- Технология поверхностного монтажа, лабораторный практикум, Богачек Г.Д., Букрин И.В., Иевлев В.И., 2020
Предыдущие статьи:
- Проектирование электрических сетей, учебное пособие, Ананичева С.С., Котова Е.Н., 2017
- Технология и оборудование низкотемпературной пайки, Электронное учебное пособие, Федоров А.Л., 2021
- Приемники электроэнергии, том 11, Анчарова Т.В., Рашевская М.А., 2021
- Устройства сверхвысоких частот и антенны, Саломатов Ю.П., Панько В.С., Лемберг К.В., 2020