Теория механизмов и машин, проектирование элементов и устройств технологических систем электронной техники, Ивашов Е.Н., Сигов А.С., 2019

По кнопке выше «Купить бумажную книгу» можно купить эту книгу с доставкой по всей России и похожие книги по самой лучшей цене в бумажном виде на сайтах официальных интернет магазинов Лабиринт, Озон, Буквоед, Читай-город, Литрес, My-shop, Book24, Books.ru.

По кнопке «Купить и скачать электронную книгу» можно купить эту книгу в электронном виде в официальном интернет магазине «ЛитРес», и потом ее скачать на сайте Литреса.

По кнопке «Найти похожие материалы на других сайтах» можно искать похожие материалы на других сайтах.

On the buttons above you can buy the book in official online stores Labirint, Ozon and others. Also you can search related and similar materials on other sites.


Теория механизмов и машин, проектирование элементов и устройств технологических систем электронной техники, Ивашов Е.Н., Сигов А.С., 2019.

ПРЕДИСЛОВИЕ.

В настоящем учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники — вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумного технологического оборудования, l — координатных исполнительных устройств и узлов фения для работы в условиях вакуума, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, различных передаточных механизмов, трибосопряжений с модифицирующими полимерными покрытиями, электростатических крепежных устройств для захватов манипуляторов, вопросы расчета функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнений и газовыделение, а также вопросы расчета вероятности безотказной работы элементов механических систем, функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнения и газовыделения и др.

Теория механизмов и машин, проектирование элементов и устройств технологических систем электронной техники, Ивашов Е.Н., Сигов А.С., 2019


Глава 1. ЭЛЕМЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ ОБОРУДОВАНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ ТЕХНОЛОГИИ.

На современном этапе развития вакуумного оборудования тонкопленочной технологии важными факторами является:
- автоматизация процесса напыления тонкопленочных покрытий;
- совместимость различных технологических операций в одном рабочем вакуумном объеме (камере) либо в объемах, соединенных между собой шлюзами и транспортирующими устройствами;
- изолирование подложки с пленочным покрытием на всех стадиях ее обработки от воздействия окружающей среды.
Однако независимо от выбранного способа испарения (распыления) исходного материала и конкретного назначения изделия вакуумное оборудование для изготовления тонкопленочных структур имеет много общих систем.

Купить .
Дата публикации:






Теги: :: :: :: :: :: :: ::


Следующие учебники и книги:
Предыдущие статьи:


 


 

Книги, учебники, обучение по разделам




Не нашёл? Найди:





2024-03-28 10:23:00