Технология тонких пленок и покрытий, Маскаева Л.Н., Федорова Е.А., Марков В.Ф., 2019

Технология тонких пленок и покрытий, Маскаева Л.Н., Федорова Е.А., Марков В.Ф., 2019.

   В учебном пособии рассмотрены физико-химические принципы организации нанесения тонких пленок и покрытий, способы нанесения пленок с использованием как физических, так и химических технологий, методы определения толщин, фазового состава и функциональных свойств пленок халькогенидов металлов и области их применения в электронной технике и альтернативной энергетике.
Адресовано бакалаврам и магистрам, обучающимся по направлению 18.03.01 «Химическая технология»; может быть полезно студентам, специализирующимся в области химической технологии материалов и изделий электронной техники, а также инженерам и научным работникам, деятельность которых связана с получением и исследованием тонкопленочных, функциональных материалов для микро- и оптоэлектроники.




Требования, предъявляемые к подложкам.
Обычно подложки подбирают таким образом, чтобы их свойства позволяли получать тонкие пленки с нужными характеристиками. Во многих случаях необходимо, чтобы подложечный материал нс мешал обработке нанесенного на него слоя или его применению. Поэтому большое внимание уделяется требованиям, предъявляемым к подложкам. Рассмотрим основные из них.

Шероховатость поверхности. Состояние поверхности подложки оказывает существенное влияние на структуру наносимых пленок и параметры пленочных элементов. Большая шероховатость поверхности подложки, наличие на ней микронеровностей уменьшают толщину пленок, вызывают локальное изменение электрофизических свойств пленок и тем самым снижают воспроизводимость параметров пленочных элементов и их надежность Поэтому подложки для тонкопленочных интегральных микросхем должны иметь минимальную шероховатость. Так, при нанесении
тонких пленок толщиной до 100 нм допустимая высота микронеровностей не должна превышать 25 нм, что соответствует 14-му классу чистоты поверхности подложек.

ОГЛАВЛЕНИЕ.
Предисловие.
Глава 1. ПЛЕНКИ И ПОКРЫТИЯ.
1.1. История становления тонкопленочных технологий.
1.2. Классификация пленок и покрытий.
1.3. Отличительные особенности тонкопленочного состояния вещества.
Вопросы для самоконтроля.
Глава 2. ПОДЛОЖЕЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ.
2.1. Материалы подложек, их достоинства и недостатки.
2.2. Требования, предъявляемые к подложкам.
2.3. Подготовка поверхности подложек.
2.4. Жидкостная очистка.
2.5. Сухая очистка.
2.6. Контроль состояния подготовленной поверхности подложки.
Вопросы для самоконтроля.
Глава 3. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ АСПЕКТЫ ФОРМИРОВАНИЯ ПЛЕНОК НА ТВЕРДОЙ МЕЖФАЗНОЙ ПОВЕРХНОСТИ.
3.1. Роль процессов адсорбции при межфазных взаимодействиях.
3.2. Физико-химические аспекты процесса зарождения новой фазы.
3.3. Теоретические представления зарождения пленок на поверхности.
3.4. Процесс роста тонких пленок.
3.4.1. Стадии формирования пленок.
3.4.2. Механизмы роста пленок.
Вопросы для самоконтроля.
Глава 4. ТЕРМОДИНАМИЧЕСКАЯ ОЦЕНКА ВОЗМОЖНОСТИ ОБРАЗОВАНИЯ ГИДРОХИМИЧЕСКИМ ОСАЖДЕНИЕМ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ ХАЛЬКОГЕНИДОВ МЕТАЛЛОВ (курсовая работа).
4.1. Общие сведения о гидрохимическом осаждении.
4.2. Расчет граничных условий образования халькогенида, гидроксида и цианамида металла при осаждении тио-, селенокарбамидом.
4.3. Расчет граничных условий образования сульфида и гидроксида металла при осаждении тиоацетамидом.
4.4. Расчет граничных условий образования селенида и гидроксида металла при осаждении селеносульфатом натрия.
4.5. Учет кристаллизационного фактора при образовании твердой фазы халькогенида металла.
Приложение 4.1.
Приложение 4.2.
Приложение 4.3.
Глава 5. ГИДРОХИМИЧЕСКИЙ СИНТЕЗ И ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛЕНОК ХАЛЬКОГЕНИДОВ МЕТАЛЛОВ.
5.1. Гидрохимический синтез фоточувствительных пленок сульфида свинца в присутствии галогенидов аммония (лабораторная работа 1).
5.1.1. Структура и свойства сульфида свинца.
5.1.2. Методы получения тонких пленок сульфида свинца.
5.1.3. Гидрохимическое осаждение пленок сульфида свинца.
5.1.4. Методы сенсибилизации пленок сульфида свинца.
5.1.5. Методика гидрохимического осаждения пленок PbS.
Задание и порядок выполнения лабораторной работы.
Требования к оформлению отчета.
Вопросы для самоконтроля.
5.2. Гидрохимический синтез твердых растворов замещения на основе сульфидов свинца и кадмия CdxPb1-xS (лабораторная работа 2).
5.2.1. Факторы изоморфного замещения в системе CdS - PbS.
5.2.2. Механизм образования пленок твердых растворов CdxPb1-xS при гидрохимическом осаждении.
5.2.3. Методика гидрохимического осаждения пленок твердого раствора замещения CdxPb1-xS.
Задание и порядок выполнения лабораторной работы.
Требования к оформлению отчета.
Вопросы для самоконтроля.
5.3. Определение толщин тонких пленок халькогенидов металлов с использованием интерференционного микроскопа (лабораторная работа 3).
5.3.1. Методы определения толщин тонких пленок.
5.3.2. Основы интерференционного измерения толщин тонких пленок.
5.3.3. Методика интерференционного измерения толщин пленок и покрытий.
Задание и порядок выполнения лабораторной работы.
Требования к оформлению отчета.
Вопросы для самоконтроля.
5.4. Исследование фотоэлектрических свойств гидрохимически осажденных пленок сульфида свинца PbS (лабораторная работа 4).
5.4.1. Природа инфракрасного излучения и его источники.
5.4.2. Основные законы инфракрасного излучения.
5.4.3. Приемники инфракрасного излучения.
5.4.4. Параметры и характеристики приемников излучения.
5.4.5. Измерение фоточувствительных характеристик плёнок PbS.
Задание и порядок выполнения лабораторной работы.
Требования к оформлению отчета.
Вопросы для самоконтроля.
5.5. Исследование фотоэлектрических свойств гидрохимически осажденных пленок твердых растворов CdxPb1-x (лабораторная работа 5).
5.5.1. Фотоэлектрические свойства пленок CdxPb1-x в зависимости от их состава.
Задание и порядок выполнения лабораторной работы.
Требования к оформлению отчета.
Вопросы для самоконтроля.



Бесплатно скачать электронную книгу в удобном формате, смотреть и читать:
Скачать книгу Технология тонких пленок и покрытий, Маскаева Л.Н., Федорова Е.А., Марков В.Ф., 2019 - fileskachat.com, быстрое и бесплатное скачивание.

Скачать pdf
Ниже можно купить эту книгу по лучшей цене со скидкой с доставкой по всей России.Купить эту книгу


Скачать - pdf - Яндекс.Диск.




Теги: учебник по химии :: химия :: Маскаева :: Федорова :: Марков :: пленка