Микроэлектронные датчики и сенсорные устройства, учебное пособие, Родионов Ю.А., 2019

Микроэлектронные датчики и сенсорные устройства, Учебное пособие, Родионов Ю.А., 2019.

Кратко рассмотрены элементы метрологии, используемые в микросенсорике. Подробно рассмотрены основные твердотельные датчики, используемые преимущественно в наукоемких областях (точная механика и оптика, микро- и наноэлектроника, атомная энергетика, военное дело): датчики на основе гальваномагнитных эффектов, датчики давления, температуры и теплового излучения, скорости и ускорения, газоанализаторы, датчики влажности, изображения, детекторы радиоактивного излучения, актюаторы и сенсоры вакуумно-плазменных технологий, обеспечивающие высокое качество продукции при изготовлении указанных датчиков. Все рассмотренные датчики описываются по единому принципу: детальное рассмотрение физического эффекта, лежащего в основе работы; выбор и практическая реализация конструктивно-технологических решений.



Основные методы построения градуировочных графиков.
Зависимость выходного сигнала от измеряемой величины чаще всего невозможно предсказать теоретически. Поэтому применяют предварительную градуировку, т. е. находят приближенную (аппроксимированную) зависимость между этими величинами по эталонным значениям измеряемой величины. Полагают, что любое значение измеряемой величины в пределах проградуированного диапазона подчиняется этой зависимости. Для построения градуировочного графика находят аппроксимирующую функцию (либо регрессию, либо интерполяцию). Если случайные ошибки велики, то применяют регрессию, поскольку она не требует, чтобы кривая проходила точно через заданные эталонные значения (узлы). Если случайные погрешности малы, то можно применить интерполяцию, кривая которой проходит через заданные точки.

СОДЕРЖАНИЕ.
ВВЕДЕНИЕ.
1.ТЕРМИНЫ И ОПРЕДЕЛЕНИЯ.
2.ЭЛЕМЕНТЫ МЕТРОЛОГИИ.
3.ДАТЧИКИ НА ОСНОВЕ ГАЛЬВАНОМАГНИТНЫХ ЭФФЕКТОВ.
4.ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ.
5.ДАТЧИКИ ТЕМПЕРАТУРЫ И ТЕПЛОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ.
6.ДАТЧИКИ СКОРОСТИ И УСКОРЕНИЯ.
7.ГАЗОАНАЛИЗАТОРЫ.
8.ДАТЧИКИ ВЛАЖНОСТИ.
9.ДАТЧИКИ ИЗОБРАЖЕНИЯ.
10.ДЕТЕКТОРЫ РАДИОАКТИВНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ.
11.АКТЮАТОРЫ.
12.ПЕРСПЕКТИВНЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ В МИКРОСЕНСОРИКЕ.
13.ДАТЧИКИ В ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННОЙ ТЕХНИКЕ И ТЕХНОЛОГИИ.
Заключение.
ПРИЛОЖЕНИЕ.
ЛИТЕРАТУРА.



Бесплатно скачать электронную книгу в удобном формате, смотреть и читать:
Скачать книгу Микроэлектронные датчики и сенсорные устройства, учебное пособие, Родионов Ю.А., 2019 - fileskachat.com, быстрое и бесплатное скачивание.

Скачать pdf
Ниже можно купить эту книгу по лучшей цене со скидкой с доставкой по всей России.Купить эту книгу


Скачать - pdf - Яндекс.Диск.




Теги: книги по электротехники :: электротехника :: электроника :: датчики :: сенсор :: актюаторы :: микросенсорика :: Родионов