Проектирование микросистем, Программные средства обеспечения САПР, Левицкий А.А., Маринушкин П.С., 2010

Проектирование микросистем, Программные средства обеспечения САПР, Левицкий А.А., Маринушкин П.С., 2010.

В пособии рассматриваются вопросы применения программных средств, используемых при проектировании устройств микросистемой техники. Приводятся сведения о специализированных системах проектирования, об универсальных САЕ- и других пакетах программ, обеспечивающих решение задач моделирования и разработки элементов микросистемой техники. Рекомендовано студентам направлений подготовки бакалавров и магистров 210100 «Электроника и микроэлектроника» и 210200 «Проектирование и технология электронных средств» (ГОС ВПО 2); 210100 «Электроника и наноэлектроника» и 211000 «Конструирование и технология электронных средств» (ФГОС ВПО).




Элементы микросистемной техники как объекты моделирования.
Микросистемная техника является в настоящее время одним из наиболее динамично развивающихся направлений микроэлектроники и предполагает изготовление в едином технологическом цикле не только интегральных схем обработки данных, но и интегральных устройств сбора информации (микросенсоров) и исполнительных механизмов (микроактюаторов). Устройства МСТ включают также микроминиатюрные источники питания, микродвигатели, микродозаторы, микронагреватели и микрохолодильники. микромеханические резонаторы, излучающие устройства (лазеры и светодиоды), струйные и лазерные печатающие устройства, кантилеверы, носители информации и т. п. Применение МЭМС в сочетании с традиционными элементами полупроводниковых интегральных схем позволяет существенно повысить уровень интеграции, а также значительно уменьшить размеры электронных устройств. Вследствие этого технологии микросистемной техники в настоящее время относятся к наиболее перспективным направлениям микро-электроники, позволяя реализовать многофункциональные микросистемы на одном кристалле.

Пример сложной микросистемы, выполненной на одной подложке и включающей как сенсорные, так и исполнительные компоненты, представлен на рис. 1.1. Примеры конструкций различных исполнительных микро-системных элементов приведены на рис. 1.2. Разработка и исследование компонентов современных микроэлектромеханических систем (МЭМС) связаны с решением задач математической физики, к которым относят задачи теплопроводности, диффузии, электростатики и электродинамики, задачи о течении жидкости, о распределении плотности электрического тока в проводящей среде, о деформациях твердых тел и многие другие.

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
1.ОПИСАНИЕ МОДЕЛЕЙ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ
1.1.Элемента микросистемной техники как объекты моделирования
1.2.Численное моделирование
1.3.Моделирование с помощью схем замещения
1.4.Поведенческие модели элементов микросистемой техники
Заключение
Контрольные вопросы и задания
2.УНИВЕРСАЛЬНЫЕ САЕ-СИСТЕМЫ
2.1.ANSYS
2.2.COMSOL Multçhysics
2.3.ALGOR
2.4.COSMOSWoiks
2.5.MATLAB SUGAR
2.6.Сравнительная характеристика САЕ-пакетов
Заключение
Контрольные вопросы и задания
3.ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ MEMS Pro
3.1.Общие сведения
3.2.Разработка электрической схемы устройства
3.3.Разработка топологического чертежа
3.4.Разработка технологического процесса
3.5.Создание трехмерной твердотельной модели
Заключение
Контрольные вопросы и задания
4.ПАКЕТ CoventorWaie
4.1.Общие сведения
4.2.Главное диалоговое окно Function Manager
4.3.Разработка технологического процесса
4.4.Проектирование устройства на системном уровне
4.5.Разработка трехмерной модели устройства
4.6.Выполнение анализа в модуле Analyzer
4.7.Сравнительная характеристика MEMS Pro и CoveatorWare
Заключение
Контрольные вопросы и задания
5.ПАКЕТ IntelliSuite
5.1.Концепция проектирования в пакете IntelliSuite
5.2.Основные компонента пакета IntelliSuite
5.3.Разработка схемы. Модуль Synple
5.4.Разработка топологии. Модуль Blueprint
5.5.Разработка технологического процесса
5.6.Физическое моделирование
5.7.Экстракция и верификация моделей
5.8.Связь IntelliSuite с EDA инструментами
Заключение
Контрольные вопросы и задания
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ОСНОВНЫХ ТЕРМИНОВ И СОКРАЩЕНИЙ
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК.

Купить .





Теги: учебник по электронике :: электроника :: электротехника :: Левицкий :: Маринушкин