Приборы и методы зондовой микроскопии, Дедкова Е.Г., Чуприк А.А., Бобринецкий И.И., Неволин В.К., 2011

Приборы и методы зондовой микроскопии, Дедкова Е.Г., Чуприк А.А., Бобринецкий И.И., Неволин В.К., 2011.
 
   Учебное пособие «Приборы и методы зондовой микроскопии» содержит подробное описание зондовых микроскопов, их принципов работы и применениям в изучении объектов нанотехнологий. Отдельные разделы пособия посвящены сканирующей туннельной, атомно-силовой и оптической ближнепольной микроскопии. Особое внимание в пособии уделено метрологическому обеспечению зондовой микроскопии. Для студентов старших курсов и аспирантов.



Острийный зонд.
Зонд определяет полезное увеличение микроскопа. Наиболее важная характеристика зонда — радиус закругления острия, который влияет па поперечные размеры области предельно достижимого разрешения. Обычно предпочтение отдастся зондам с меньшими значениями радиуса острия, хотя иногда поперечные размеры исследуемых структур этого не требуют, а сложность изготовления зонда значительно повышается с уменьшением радиуса острия.

Следует учитывать, что радиус острия является далеко не единственной характеристикой зонда. Материал определяет устойчивость зонда к физико-химическим воздействиям. При использовании зонда в качестве инструмента нанотехнологии к нему могут предъявляться особые требования по химической стойкости, твердости, частоте собственных изгибных механических колебаний (в особенности для кантилеверов), механической прочности, повторяемости геометрической формы и т.п. Суммируя изложенное выше, можно сказать, что в каждом конкретном случае необходимо иметь зонд с приемлемым радиусом острия и с определенным набором физико-химических и геометрических параметров.

ОГЛАВЛЕНИЕ
1. ВВЕДЕНИЕ
2. ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ СТМ
2.1. Краткая история методов СЗМ
2.2. Физические принципы работы СТМ
3. АППАРАТУРА ДЛЯ СТМ
3.1. Острийный зонд
3.2. Система управления СТМ
3.3. Сканер для микроперемещений зонда
3.4. Система грубого подвода по Z
3.5. Устройство защиты
3.6. Конструкция сканирующего туннельного микроскопа
4. ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ МЕТОДИКИ СТМ
4.1. Топографический режим
4.2. Токовый режим
4.3. Спектроскопия.
5. ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ
5.1. Типы силовых взаимодействий
5.2. Упругие взаимодействия. Задача Герца
5.3. Капиллярные силы
5.4. Капиллярная сила, действующая на зонд
5.5. Межмолекулярная сила Ван-дер-Ваальса
5.6. Ориентационное взаимодействие
5.7. Индукционное взаимодействие
5.8. Дисперсионное взаимодействие
5.9. Ван-дер-ваальсовское притяжение зонда к образцу
5.10. Адгезионные силы
6. АППАРАТУРА ДЛЯ ACM
6.1. Зонд атомно-силового микроскопа
6.2. Измерительная головка и оптическая система регистрации отклонений кантилевера
6.3. Пьезосканер
6.4. Сканеры с датчиками перемещений
6.5. Система обратной связи
7. ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ МЕТОДИКИ ACM
7.1. Контактный режим работы прибора
7.2. Полуконтактный режим работы прибора
7.3. Бесконтактный режим работы прибора
7.4. Магнитная микроскопия
7.5. Микроскопия электростатических сил
8. МЕТРОЛОГИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ ACM
8.1. Хранение единицы длины.
8.2. Линейные меры для растровых электронных и атомно-силовых микроскопов
8.3. Методика поверки ACM
8.4. Свойства универсальной линейной рельефной меры.
9. РЕЛЬЕФНАЯ ШАГОВАЯ СТРУКТУРА С ТРАПЕЦИЕВИДНЫМ ПРОФИЛЕМ И БОЛЬШИМ НАКЛОНОМ БОКОВЫХ СТЕНОК МШПС-2.0 К
9.1. Получение структуры с трапециевидным профилем
9.2. Калибровка ACM с использованием меры МШПС-2.0К
9.3. Калибровка ACM с использованием других тестовых структур
10. ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ СКАНИРУЮЩЕЙ БЛИЖНЕПОЛЬНОЙ ОПТИЧЕСКОЙ МИКРОСКОПИИ
10.1. Аппаратура для СБОМ
10.2. Принцип работы СБОМ
10.3. Методики СБОМ
10.4. Конфигурации СБОМ
11. ИСПОЛЬЗОВАНИЕ МЕТОДОВ СЗМ В ИССЛЕДОВАНИИ НАНОСТРУКТУР И ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДОГО ТЕЛА
11.1. Туннельная микроскопия 2D подложек
11.2. Туннельная спектроскопия для определения параметров проводимости структур
11.3. Изучение наноразмерных структур на поверхности трехмерных макрообъектов
11.4. Применение ACM для измерения типа проводимости
11.5. Применение СЕМ для расчета концентрации электрически активных примесей
12. СОВРЕМЕННЫЕ ТЕНДЕНЦИИ ЗОНДОВОЙ НАНОТЕХНОЛОГИИ, РАЗВИТИЯ ПРИБОРОВ И МЕТОДОВ ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ.



Бесплатно скачать электронную книгу в удобном формате, смотреть и читать:
Скачать книгу Приборы и методы зондовой микроскопии, Дедкова Е.Г., Чуприк А.А., Бобринецкий И.И., Неволин В.К., 2011 - fileskachat.com, быстрое и бесплатное скачивание.

Скачать pdf
Ниже можно купить эту книгу по лучшей цене со скидкой с доставкой по всей России.Купить эту книгу


Скачать книгу Приборы и методы зондовой микроскопии, Дедкова Е.Г., Чуприк А.А., Бобринецкий И.И., Неволин В.К., 2011 - pdf - Яндекс.Диск.




Теги: учебник по нанотехнологии :: нанотехнология :: Дедкова :: Чуприк :: Бобринецкий :: Неволин