В учебном пособии рассматриваются физико-химические процессы получения материалов, используемых в микро-, опто- и наноэлектронике, в том числе операции выделения химического индивида из исходного сырья, очистка в виде соединений, финишное рафинирование, получение монокристаллов с заданными свойствами. Для студентов, обучающихся по направлению 210100 «Электроника и микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.
Теория подобия. Моделирование технологических процессов.
Критерии и теоремы подобия. Для моделирования технологических процессов широко применяется теория подобия. Изучение процессов с целью получения уравнений для анализа и расчета можно проводить чисто теоретически. Этот наиболее оптимальный путь исследования заключается в получении и решении математических зависимостей, чаще всего дифференциальных уравнений, которые должны полностью описывать процесс. Многие технологические процессы характеризуются, как правило, большим количеством переменных и настолько сложны, что удается дать лишь их математическое описание. Полученные же дифференциальные уравнения не удается решить известными методами. Вследствие этого развит полуэмпирический метод исследования, основанный на применении теории подобия.
Теория подобия — это учение о методах обработки экспериментальных данных по исследованию процессов массотеплообмена, течения жидкостей и газов, заключающееся в научном обобщении результатов эксперимента и представлении их в форме критериев подобия, которые можно использовать для расчетов других процессов, не прибегая к эксперименту в конкретных промышленных технологических устройствах.
ОГЛАВЛЕНИЕ
Предисловие
Глава 1. Основные технологические процессы
1.1. Основная номенклатура, классификация и общие требования к материалам микро-, опто- и наноэлектроники
1.2. Свойства индивидуальных веществ и их смесей, используемых в электронной технике
1.3. Чистота материалов, их классификация
1.4. Теория подобия. Моделирование технологических процессов
1.5. Разделение гетерогенных систем в гравитационном, центробежном и электрическом полях
1.6. Фильтрование. Промывка осадков
1.7. Процессы переноса вещества
1.8. Движущая сила массопереноса. Методы ее расчета
1.9. Абсорбция
1.10. Экстракция
1.11. Перегонка жидкостей
1.12. Технологический расчет ректификации
1.13. Высушивание влажных материалов
1.14. Адсорбция
1.15. Ионный обмен
1.16. Кристаллизация из растворов
1.17. Кристаллизация из расплавов
1.18. Получение однородно легированных по длине монокристаллов
1.19. Химические транспортные реакции
Глава 2. Технология элементарных полупроводников
2.1. Технология германия
2.1.1. Физические и химические свойства германия
2.1.2. Технология получения поликристаллического германия
2.1.3. Выращивание монокристаллов германия
2.2. Технология кремния
2.2.1. Химические и физические свойства кремния
2.2.2. Технология получения поликристаллического кремния
2.2.3. Технология выращивания монокристаллов
2.2.4. Тепло- и массообмен при выращивании объемных монокристаллов
2.2.5. Термические условия при медленном росте
Глава 3. Технология полупроводниковых соединений АIIIВV
3.1. Природа полупроводниковых соединений
3.2. Свойства полупроводниковых соединений
3.3. Особенности технологии соединений
3.4. Технология получения монокристаллов соединений с заданными свойствами
3.4.1. Поведение примесей и собственных точечных дефектов в полупроводниках АIIIВV
3.4.2. Выращивание монокристаллов соединений
3.5. Технология получения эпитаксиальных структур
Литература.
Бесплатно скачать электронную книгу в удобном формате, смотреть и читать:
Скачать книгу Технология материалов микро- опто- и наноэлектроники, часть 1, Раскин А.А., Прокофьева В.К., 2010 - fileskachat.com, быстрое и бесплатное скачивание.
Скачать djvu
Ниже можно купить эту книгу по лучшей цене со скидкой с доставкой по всей России.Купить эту книгу
Скачать книгу Технология материалов микро- опто- и наноэлектроники, Часть 1, Раскин А.А., Прокофьева В.К., 2010 - djvu - Яндекс.Диск.
Дата публикации:
Теги: учебник по нанотехнологии :: нанотехнология :: Раскин :: Прокофьева
Смотрите также учебники, книги и учебные материалы:
Следующие учебники и книги:
- Приборы и методы зондовой микроскопии, Дедкова Е.Г., Чуприк А.А., Бобринецкий И.И., Неволин В.К., 2011
- Физические основы наноэлектроники, Ткалич B.Л., Макеева A.B., Оборина Е.Е., 2011
- Физико-химия наноструктурированных материалов, Климов Б.Н., Штыков С.Н., Горин Д.А., 2009
- Технология материалов микро- опто- и наноэлектроники, часть 2, Рощин В.М., Силибин М.В., 2010
Предыдущие статьи:
- Патентование изобретений в области высоких и нанотехнологий, Соколов Д.Ю., 2010
- Особенности физико-химических свойств нанопорошков и наноматериалов, Ильин А.П., Назаренко О.Б., Коршунов А.В., Роот Л.О., 2012
- Нанобиотехнология, Основы молекулярной биотехнологии, Огурцов А.Н., 2010
- Бионанотехнология, Принципы и применение, Огурцов А.Н., 2012