Изложены физические основы нанотехнологий. а также свойства наноматериалов. используемых в электронной промышленности и энергетике. Особое внимание уделено технологическим аспектам получения наноматериалов. их свойствам и конструктивным особенностям, позволяющим создавать новые элементы наноэлектроники. нанофотоники и микросистемной техники.
Пособие снабжено большим количеством рисунков и цветных фотографий, что облегчает преподавание дисциплины с активным привлечением мультимедийных средств.
Пособие прел назначено для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств» н П.03.04-«Элек1роника и наноэлектроника».








