вакуум

Нанесение пленок в вакууме, Книга 6, Минайчев В.Е., 1989.
 
   Изучив эту книгу, вы узнали, каково назначение тонких пленок при изготовлении полупроводниковых приборов и ИМС, какими методами их наносят, используя различное вакуумное технологическое оборудование, и как контролируют параметры технологических процессов и осажденных слоев.
В данном учебном пособии описаны только основные методы и вакуумное оборудование. Освоив этот учебный материал, вы в дальнейшей работе по выбранной специальности сможете, знакомясь с технической литературой и новейшей технологией, легко овладеть другими методами нанесения тонких пленок. Все это будет способствовать повышению вашей квалификации, позволит сознательно выполнять порученную работу и вносить свой вклад в развитие микроэлектроники.

Основы вакуумной техники, Шешин Е.П., 2001.

Фрагмент из книги:
При соударении друг с другом или со стенками вакуумной камеры молекулы газа изменяют свои скорости, как по величине, так и по направлению. Тем не менее в состоянии равновесия систему молекул можно описать с вероятностной точки зрения. Математически такое описание определяется заданием функции плотности вероятности распределения молекул по скоростям.

Основы вакуумной техники, конспект лекций, Белокрылов И.В., 2007.

2.1. Энергия взаимодействия.

По мере снижения рабочего давления роль поверхностных явлений при получении и измерении вакуума непрерывно возрастает, особенно в области сверхвысокого вакуума. Процесс поглощения газов или паров твердыми телами, не зависящий от того, происходит он в объеме или на поверхности, называется сорбцией.
Процесс поглощения газов поверхностью твердых тел называется адсорбцией и подразделяется на физическую и химическую (хемосорбцию). Энергия взаимодействия при физической адсорбции выше, чем при химической.
Адсорбция – поглощение газов в объеме твердого тела. При этом происходит рас-творение газов в твердом теле. Вещество, поглощающее газ, называется сорбентом, поглощаемое – сорбатом. Выделение газа из твердых тел называется десорбцией.
Сорбция – процесс экзотермический. При поглощении молекул газа выделяется энергия взаимодействия, имеющая физическую и химическую природу.

Вакуум для науки и техники, Ашкинази Л.А., 1987.

   Популярно рассказано о том, что такое вакуум, когда и как возникло это понятие и как развивалась вакуумная техника в дальнейшем. Рассмотрены процессы на поверхности твердых тел, процессы в разреженных газах и некоторые из процессов» происходящие в объеме вещества и существенные для работы вакуумных приборов и установок. Рассказано о том, как получают и измеряют вакуум, о применении вакуума в технике и науке, о взаимодействии вакуумной техники и вакуумной физики с другими областями техники и науки.
Для школьников и преподавателей.