Технологии нанообработки, Григорьев С.Н., Грибков А.А., Алёшин С.В.
Изложены основные методы наноизмерений, способы получения нанопорошков, поверхностных и объемных наноструктур. Представлены различные устройства нанопозиционирования и наноперемещения. Описываются методы и средства размерной нанообработки, обработки сканирующими зондами, нанолитографии. Изложены основные подходы к созданию молекулярных наномашин и других супрамолекулярных структур.